深天马取得新面板专利
发布时间：2024-08-23 09:04 来源：维科网显示 点击次数：21642 分享到：
近日，上海天马微电子有限公司取得一项名为“一种薄膜晶体管及制备方法、传感器装置及显示面板”的专利，授权公告号为CN115346876B，授权公告日为2024年8月9日，申请日为2022年8月19日。
本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及制备方法、传感器装置及显示面板，包括：提供第一基板；在第一基板一侧依次制备牺牲层、第一栅极、有源层和第二栅极，第一栅极在有源层上的垂直投影面积和第二栅极在有源层上的垂直投影面积不同，且面积较大的栅极完全覆盖面积较小的栅极；以第二栅极为阻挡层对有源层进行离子注入，形成第一掺杂区；以第一栅极为阻挡层对有源层进行离子注入，形成第二掺杂区，第一掺杂区和第二掺杂区的掺杂浓度不同。本发明实施例提供的技术方案，以提高薄膜晶体管的性能，且简化制备工艺。
本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及制备方法、传感器装置及显示面板，包括：提供第一基板；在第一基板一侧依次制备牺牲层、第一栅极、有源层和第二栅极，第一栅极在有源层上的垂直投影面积和第二栅极在有源层上的垂直投影面积不同，且面积较大的栅极完全覆盖面积较小的栅极；以第二栅极为阻挡层对有源层进行离子注入，形成第一掺杂区；以第一栅极为阻挡层对有源层进行离子注入，形成第二掺杂区，第一掺杂区和第二掺杂区的掺杂浓度不同。本发明实施例提供的技术方案，以提高薄膜晶体管的性能，且简化制备工艺。
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