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国外首次在200mm硅晶圆上生长出高质量的AlGaN/GaN异质结构

欧洲独立的纳米电子研究中心IMEC与MOCVD设备供应商AIXTRON公司日前宣布,首次在200mm硅晶圆上成功生长出高质量高均匀性的AlGaN/GaN异质结构。...

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