中科院上海微系统与信息技术所研制出高性能MEMS快反镜
发布时间：2025-07-01 来源：网络搜集 阅读次数：14956 分享到：
在卫星激光通信中，光束控制精度关乎通信质量，快速反射镜犹如“精密心脏”。
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出集成角度传感器的高性能MEMS快反镜，镜面尺寸大、封装体积小，性能优良，在激光卫星通信方面潜力巨大。
该快反镜历经近五年才研制成功，采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚1元硬币大小。
封装后的MEMS快反镜
它攻克传统机械快反镜和原有MEMS快反镜的技术瓶颈，打造出航天级产品，指向精度达μrad量级，满足星载应用的超高性能指标。
受手机屏幕启发，团队利用硅压阻应变原理集成片上角度传感器，通过结构创新使灵敏度提升63%，优化光束控制精确性。
测试结果表明，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅2纳米。
官方打了一个比方，这就相当于在足球场大小的镜面上，所有起伏不超过一根头发丝的直径，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。
该产品通过双层异构集成技术和晶圆级键合工艺，实现了高线性度、超高角度分辨率及快速阶跃响应，为卫星激光通信提供了小型化、高精度的解决方案。这种快反镜在光束指向、捕获和跟踪中表现卓越，其准静态驱动下的最大动态表面形变仅2纳米，满足远距离卫星通信对光学质量的严苛要求。相比传统机械快反镜和商用MEMS快反镜，该器件在航空航天领域展现出显著优势。未来，研究团队将进一步优化镜面尺寸、闭环控制和器件可靠性，推动技术在星间链路中的广泛应用。相关成果已发表于《微系统与纳米工程》期刊。
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出集成角度传感器的高性能MEMS快反镜，镜面尺寸大、封装体积小，性能优良，在激光卫星通信方面潜力巨大。
该快反镜历经近五年才研制成功，采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚1元硬币大小。
封装后的MEMS快反镜
它攻克传统机械快反镜和原有MEMS快反镜的技术瓶颈，打造出航天级产品，指向精度达μrad量级，满足星载应用的超高性能指标。
受手机屏幕启发，团队利用硅压阻应变原理集成片上角度传感器，通过结构创新使灵敏度提升63%，优化光束控制精确性。
测试结果表明，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅2纳米。
官方打了一个比方，这就相当于在足球场大小的镜面上，所有起伏不超过一根头发丝的直径，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。
该产品通过双层异构集成技术和晶圆级键合工艺，实现了高线性度、超高角度分辨率及快速阶跃响应，为卫星激光通信提供了小型化、高精度的解决方案。这种快反镜在光束指向、捕获和跟踪中表现卓越，其准静态驱动下的最大动态表面形变仅2纳米，满足远距离卫星通信对光学质量的严苛要求。相比传统机械快反镜和商用MEMS快反镜，该器件在航空航天领域展现出显著优势。未来，研究团队将进一步优化镜面尺寸、闭环控制和器件可靠性，推动技术在星间链路中的广泛应用。相关成果已发表于《微系统与纳米工程》期刊。
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