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德国CVD大厂AIXTRON收购Nanoinstruments公司
发布时间:2007-10-17    来源:网络   阅读次数:1671 分享到:

2007年10月8日,德国AIXTRON与Nanoinstruments公司达成协议,AIXTRON将收购Nanoinstruments公司,但并未披露收购的金额。Nanoinstruments成立于2005年,当初是从英国剑桥大学独立出来的,以CVD制造为主,同时还提供碳纳米管(CNT)和其他纳米材料所需的等离子体增强CVD法研究设备。对于未来光电器件和应用而言,CNT是一种极有前途的材料,目前它被许多研究团队用来研究下一代新型材料,并将之应用于平板显示、热沉、集成电路、传感器或电子枪。对于AIXTRON而言,在原有的沉积设备系列产品中加入Nanoinstruments的上述产品,能在纳米技术应用的中期和长期发展中,为公司创造新的潜在机会。

AIXTRON Nanoinstruments的业务重心是研发CNT设备并将之产业化,将Nanoinstruments专业的纳米技术与AIXTRON的技术资源、制造能力和国际化客户服务及支持网络结合起来。在行政方面,Nanoinstruments的重要管理人员如公司创始人Ken Teo博士和Nalin Rupesinghe博士,他们将加入新的AIXTRON Nanoinstruments技术部门。

AIXTRON CEO Paul Hyland先生说:“我们对Nanoi团队在如此短的经营时间内所取得的成就印象深刻。他们已经为全球一些重要的研究和产业化机构提供了设备,并成功地将CNT技术推向全新的电子应用。这项新型技术已暂露头角,备受赞誉。结合现有地丰富经验和技术力量,相信我们能借助Nanoinstruments团队的力量将AIXTRON的业务拓展到非常有趣的纳米技术领域。”Ken Teo博士对此也发表了感言,他相信AIXTRON能将此项纳米技术发展到下一个阶段;此次收购不仅提高了客户的研发能力,客户也能从AIXTRON那儿获取上述利益,将业务推向AIXTRON所在的全球网络点,欧美与亚太地区。

CVD是利用化学反应的方式在反应室内将气体反应物生成固态的生成物,并淀积在晶圆表面的一种薄膜沉积技术。

      AIXTRON是一家总部位于德国亚琛、专注于CVD工艺的设备供应商。1983年,AIXTRON从德国亚琛工业大学剥离,目前所拥有的产品和技术主要覆盖三大领域:化合物半导体(CSTS),硅半导体(SSTS)和有机半导体(OSTS),MOCVD作为AIXTRON最主要的设备,其全球市场占有率达到了63%。
  按应用来分,AIXTRON的业务主要有5大板块:LED、硅半导体、消费电子/光电子、通讯/数据网络和显示领域。2005年,在成功收购GENUS并经过两年的融合和巩固之后, AIXTRON业务收入构成比例也出现了明显的变化,2006年硅半导体业务占其总营收的32%,而原来作为绝对主导的LED应用业务收入由占公司的70-80%相对下降到了44%,化合物半导体和硅半导体设备已成了AIXTRON两个并重的市场。

  2006年AIXTRON 总收入达2.23亿美元,实现了23%的增长,其中亚洲市场占了79%。据AIXTRON上海代表处总经理黄朝福介绍,这主要得益于两方面的成长:一是
MOCVD的新产品AIX 2800G4 HT Planetary Reactor(42x2")和Thomas Swan Crius (30x2")的推出,迎合了LED市场快速扩张,MOCVD在LED制造中起着至关重要的作用,是生长III-V族化合物如GaN、InP、SiGe、GaAs等外延层制备的核心技术和主流方法;二则是源自去年Memory市场的优异表现,AIXTRON的CVD设备主要专注于硅化钨(WSix)薄膜的淀积, 通常Memory工艺较Logic需要更多的CVD步骤,韩国是AIXTRON硅半导体市场的主要推动市场,Hynix去年的中国市场表现有力地拉动了AIXTRON的业绩。据介绍,AIXTRON-GENUS硅半导体设备定位于高端工艺,目前已可提供12英寸、22纳米技术节点的产品。2009年全球MOCVD市场规模估计为2.35亿美元,硅化钨CVD、ALD和AVD市场为3.20亿美元,AIXTRON的目标是分别占领60%和25%以上的市场。

  LED是下一代照明工业的主流,目前已被广泛地运用于为手机液晶显示背光源、显示屏、景观照明、汽车照明和交通指示等领域。虽然中国的LED产业已经初步形成珠江三角洲、长江三角洲、厦门、南昌、北京与大连等五大产业区域,每一区域也基本形成了较为完善的产业链。但是提及中国LED的发展前景,黄朝福认为中国LED市场容量巨大,专注于LED的企业为数不少,但多数没有自主产权,LED技术的核心专利基本都已经被海外的大公司所控制,如Philips-Lumileds、Cree、Nichia、Toyoda  Gosei、Osram等,中国的LED产业发展不得不面临专利权的问题,国内企业在发展过程中,尤其要注意技术的自主创新。

  80年代末,AIXTRON开始接触中国市场,90年代初,AIXTRON 的第一台系统于进入中国市场,2002年,AIXTRON上海代表处成立。长期以来,AIXTRON与中国的科研机构、院校保持了良好的合作关系。随着中国半导体照明工程的启动,AIXTRON也积极参与到中国国家重点基础研究发展规划项目如863项目、973项目和985项目中。



Tokuyama用AIX 200/4 RF-S生产UV LED

AIXTRON宣布,AIX 200/4 RF-S外延反应腔在日本Tokuyama的研发中心成功启动。该设备用来开发和生产AlGaN基紫外光LED。UV-LED在目前面临很大挑战,但是凭着先进的工艺稳定性以及耐高温特性(1400°C),AIX 200/4 RF-S能生产出最高质量的GaN和AlGaN层。在东京工业大学Aoyagi教授的通力协作下,Tokuyama完成了对这款设备的评估以及此项应用鉴定。再次引入AIXTRON设备将加快GaN UV-LED材料及器件的开发进程。

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