我国首次采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器
发布时间：2007-09-11 来源：网络 阅读次数：1290 分享到：
中科院上海光机所周常河课题组利用高密度等离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺技术和激光全息技术，发展出石英玻璃深刻蚀技术，成功地在石英玻璃基底上加工出优化深度的亚波长光栅，实验证明其具有很高的偏振隔离度和衍射效率，是非常优良偏振分光器件。该器件具有使用寿命长，不易霉变，稳定、可靠，热稳定性好等显著优点。本项工作已经申请发明专利，并在国际刊物《光学通信》(Optics Letters 32, 1299)上发表。
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