中国国产的代表国际尖端水准的高亮度LED芯片生产关键设备MOCVD(金属有机化学气相沉积设备)在正泰集团上海张江理想能源设备有限公司6日成功下线,打破了该领域长期被欧美企业垄断的局面,大陆LED生产成本有望显著下降。
MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备,因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因,市场主要被欧美企业所垄断。
国产MOCVD机台(图片源自网络)
中国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就,产品国产化比例显著提升,但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口,生产成本居高不下,严重制约著LED产业的发展。因此开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备是海峡两岸LED外延芯片企业的迫切要求。
现在我国的MOCVD设备很大程度上依赖于国外,在LED产品的研发和制造上也受到诸多限制。LED产业要想获得长远的发展,就必须摆脱国外对产品的控制。
国外的MOCVD设备已经趋于成熟,而由于产能的差距,小批量的MOCVD设备外延片生产成本较高。我国国产的MOCVD机台申请20项国内外专利,在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升,最适合商业量产。相信这次机台的下线能够为我国LED行业的发展起到推动作用,同时减少对国外技术和设备的依赖,从而增强我国LED照明产品在国际市场的竞争力。
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