国产MOCVD生产性样机通过验收—中国光学光电子行业网

5月份，《解放日报》报道称北京市科委2010年度重大科技攻关项目“MOCVD生产性样机研制”通过验收。该项目主要由理想能源设备(上海)有限公司承担。

通过2年攻关，现已成功开发出具有自主知识产权的MOCVD反应腔，在多项关键设备技术和工艺技术上取得重要突破。

该项目标志着LED半导体外延片和芯片的核心生产设备MOCVD已基本实现国产化，打破对进口产品的依赖，有助于我国半导体照明产业快速发展。

金属有机物化学气相沉淀技术（Metal Organic Chemical Vapor Deposition，简称 MOCVD），是一项制备化合物半导体单晶薄膜的技术。主要用于发光二极管的制造，MOCVD设备是光电子行业关键设备，用MOCVD 技术进行外延生长是制造外延片的核心步骤。

尽管目前我国白光发光二极管（LED）产业发展比较快，但关键设备及材料的严重依赖进口，比如金属有机化学气相沉积（MOCVD）、等离子刻蚀机等技术含量很高的设备，国内生产线全部依靠进口。
为此，《“十二五”科技规划》将半导体照明列为节能环保产业技术发展的重点，未来五年，将重点发展LED制备、光源系统集成、器件等自主关键技术，实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化。
　　据了解，目前一些国内企业，如天龙光电等已经开始试水MOCVD国产。　
　《“十二五”科技规划》对LED发展目标的表述为：2015年半导体照明占据国内通用照明市场30％以上份额，产值预期达到5000亿元，推动我国半导体照明产业进入世界前三强。

中国大陆MOCVD设备研发及生产主要单位

序号	单位/高校	规格	技术来源
1	广东昭信半导体装备制造有限公司	37*2’	华中科技大学
2	上海蓝宝光电材料有限公司	3*2’	中科院
3	正泰理想新能源设备有限公司
4	青岛杰生电气有限公司	6*2’	西安电子科技大学
5	西安光学精密机械研究所	3*2’	中科院
6	中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司	7*2’	中科院
7	青岛精诚华旗微电子设备有限公司	3*2’
8	东莞中镓半导体科技有限公司		北京大学
9	华光慧能		法国CSMEC
10	江苏华盛天龙光电设备股份有限公司		香港华晟
11	中电48所	6*2’
12	北京泰科诺科技有限公司	3*2’
13	清华大学集成光电子实验室
14	山东大学晶体材料国家重点实验室
15	中科院半导体研究所
16	福建省半导体照明工程技术中心
17	华南师范大学信息光电子科技学院
18	南京大学江苏省光电信息功能材料实验室

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