2009年4月8日，全球首台纳秒深紫外固态激光源实用化样机在中科院理化技术所研制成功。3月20日，项目总体部总经理詹文山，项目首席科学家、中国工程院院士许祖彦，理化所所长刘新厚等共同见证了第一台样机出所。3月23日，样机顺利运抵中科院大连化学物理研究所，科研人员将完成深紫外激光拉曼光谱仪的整机组装调试。
据专家介绍，2007年12月，“国家重大科研装备研制项目——深紫外固态激光源前沿装备研制”立项。该项目利用中科院在深紫外非线性光学晶体及激光技术研究领域保持国际领先地位的优势，计划研制7台（套）（第一批）具有自主知识产权的国际首创/领先的深紫外固态激光源重大科研装备，建立深紫外科学仪器研制基地，取得从材料到器件到应用的全面优势，引领DUV（深紫外）前沿重大科研装备的突破，使我国在该领域的科学与技术位居国际领先地位，推动物理、化学、材料、信息、生命、资环等领域创建新的科技前沿。
中国科学院理化技术研究所的科研人员经过一年半的努力，终于成功研制出全球首台ns脉冲177.3 nm深紫外固态激光源实用化样机。通过优化倍频系统及KBBF先进热管理技术，激光输出功率获重大突破，比2006年提高20倍，稳定输出功率达4 mW，最大输出功率为34.7 mW。
国际首台ns 脉冲177.3 nm深紫外固态激光源实用化样机
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2007年12月，“国家重大科研装备研制项目——深紫外固态激光源前沿装备研制”在财政部及中科院计划局、基础局的大力支持下立项。该项目利用中科院在深紫外非线性光学晶体及激光技术研究领域保持国际领先地位的优势，计划研制7台(套)(第一批)具有自主知识产权的国际首创/领先的深紫外固态激光源重大科研装备，建立深紫外科学仪器研制基地，取得从材料到器件到应用的全面优势，引领DUV(深紫外)前沿重大科研装备的突破，使我国在该领域的科学与技术位居国际领先地位，推动物理、化学、材料、信息、生命、资环等领域创建新的科技前沿。
中国科学院理化技术研究所的科研人员经过一年半的努力，2009年3月终于成功研制出国际首台ns 脉冲177.3 nm深紫外固态激光源实用化样机。通过优化倍频系统及KBBF先进热管理技术，激光输出功率获重大突破，比2006年提高20倍，稳定输出功率达4 mW，最大输出功率为34.7 mW。
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| 项目总体部总经理詹文山、项目首席科学家许祖彦院士及理化所所长刘新厚等出席了第一台ns 脉冲深紫外固态激光源实用化样机出所仪式 |
2009年3月20日，项目总体部总经理詹文山、项目首席科学家许祖彦院士及理化所所长刘新厚等出席了第一台ns 脉冲深紫外固态激光源实用化样机出所仪式，3月23日首台深紫外固态激光源实用化样机顺利运抵大连化学物理研究所，科研人员将完成深紫外激光拉曼光谱仪的整机组装调试。
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