我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列
机电工程与自动化学院自主研制的新一代超精密光学零件加工设备，日前通过相关单位组织的工艺考核。结果表明，该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破，其典型试验件的光学零件面形精度RMS(均方根)值达到0.361纳米，标志我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列。...
01-26
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光电新闻
机电工程与自动化学院自主研制的新一代超精密光学零件加工设备，日前通过相关单位组织的工艺考核。结果表明，该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破，其典型试验件的光学零件面形精度RMS(均方根)值达到0.361纳米，标志我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列。...
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