光束分析仪,由计算机、平行光管、可变衰减器、面阵CCD等构成,主要用于检测光学系统光束截面的相对功率空域分布、光束直径、横模模式、束散角等参数,也可用于进行光学系统光轴一致性的调整或调整光学系统的光学指标。
主要技术指标:工作波长:190nm-1800nm。
最高分辨率:0.1μm。
最小光束直径:2μm。
样品重量:≤15kg。