用于测量红外焦平面阵列的串音
光波长范围:(3~5)mm,(8~14)mm
光斑直径:小于40mm(3mm~5mm波段),小于70mm(8mm~14mm波段)
工件台定位精度:0.5mm
串音测量范围:大于2%
串音测量不确定度:1% (k=2)