日本株式会社GENEST专业从事MOCVD设备Reactor的维修,特气/排气系统的改造、设计、施工,MOCVD装置相关设备、部件的供应及修理等业务。
从1989年作为日本第一号机、eMCORe为Hitachi提供的D-180(旧名GS-3300)设备的维修服务开始到现在,已先后为Rohm、信越半导体、古河电工、昭和电工等十社以上的Veeco(旧eMCORe)、AIXTRON等MOCVD设备进行过技术改造(Gas Panel ~ Process Exhaust),其LED、LD、FET、HBT、HEMT等设备在运转率、质量、再现性等方面均有所改善及进一步提高,实际成果各社给予了高度评价。
会社凭借二十余年实践经验所总结的丰富工学知识,致力于为客户提供一流的技术服务。
在MOCVD设备的使用、维护和修理等方面如有问题,欢迎垂询,愿为您提供技术支持。
产品系列
真空部件及相关机械部件 |
石英制品 |
<MOCVD装置有关实绩> |
Laser Pointer |
联系人:長谷川 hasegawa-e@genest.co.jp
GENEST Co., Ltd.
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