浙江金西园科技有限公司创建于1999年,注册资本3531万元,占地面积45968m2。企业位于浙江省西部,钱塘江上游,浙、皖、赣三省七县交界处,东经118°01'15''-118°37'50'',北纬28°54'30''-29°29'59''。是一家专业生产集成电路级和太阳能级半导体材料的硅单晶企业,是省级硅产业的重点企业。2007年8月被国家发改委、信息产业部、海关总署、国家税务总局联合审核认定为第一批国家鼓励发展的集成电路企业。
企业的工艺流程、质量管理,通过了国际ISO9001:2000体系认证。企业注重技术创新,为保证产品质量,企业引进日本,瑞士等国先进的生产设备及检测设备。
企业主导产品“金西园”牌CZ硅单晶,型号有N型、P型(111)、(100),直径为3~8英寸,年生产能力90000公斤,硅单晶片500万片。为客户提供集成电路级和太阳能级半导体材料产品。
企业贯彻“客户至上,质量第一”的宗旨,并以一流的服务满足顾客的期望,热忱欢迎新老客户光临惠顾。
产品系列
名称 |
3˝ |
4˝ |
5˝ |
6˝ |
8˝ |
直径 |
Ф76.2±0.3mm |
Ф100±0.4mm |
Ф125±0.5mm |
Ф150±0.5mm |
Ф200±0.5mm |
晶向 |
<111><100> |
<111><100> |
<111><100> |
<111><100> |
<111><100> |
型号 |
N、P |
N、P |
N、P |
N、P |
N、P |
氧含量 |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
碳含量 |
≤1ppma |
≤1ppma |
≤1ppma |
≤1ppma |
≤1ppma |
电阻率 |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
名称 |
3˝ |
4˝ |
5˝ |
6˝ |
8˝ |
直径 |
Ф76.2±0.3mm |
Ф100±0.4mm |
Ф125±0.5mm |
Ф150±0.5mm |
Ф200±0.5mm |
厚度 |
≥190µm |
≥220µm |
≥250µm |
| |
厚度偏差 |
±5µm/±10µm |
±5µm/±10µm |
±5µm/±10µm |
±5µm/±10µm |
±5µm/±10µm |
总厚度变化 |
<5µm |
<5µm |
<5µm |
<5µm |
<5µm |
翘曲度 |
<25µm |
<25µm |
<25µm |
<25µm |
<25µm |
主参考面方向 |
(110)±1° |
(110)±1° |
(110)±1° |
(110)±1° |
(110)±1° |
主参考面宽度 |
Cw22.5±2.5mm |
Cw22.5±2.5mm |
Cw22.5±2.5mm |
Cw22.5±2.5mm |
Cw22.5±2.5mm |
氧含量 |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
≤20-36ppma |
碳含量 |
≤1ppma |
≤1ppma |
≤1ppma |
≤1ppma |
≤1ppma |
电阻率 |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
0.005-90Ω·cm |
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