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奥普光电在大口径平面镜光学加工取得突破
发布时间:2014-04-02    来源:奥普光电   阅读次数:833 分享到:

    2013年3月,中科院长春光机所投资公司奥普光电加工完成BZPMJ700标准平面镜,面型精度PV为0.187λ、rms为0.018λ、power为0.003λ,这标志着奥普公司在大口径平面镜光学加工技术上取得重大突破。

  该BZPMJ700标准平面镜由平面反射镜和精密二维支撑架两部分组成。经过技术攻坚,已经加工出高精度面形平面反射镜。直径700mm的平面反射镜有效口径范围面形精度达到PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm),为该所自制同尺寸平面镜最高精度。此项技术的突破标志着奥普光电具备了直径800mm以内大口径高精度平面镜加工能力,单镜加工周期为半年左右,加工工艺具备定型条件,并能够延伸开发制作不同尺寸和种类的标准平面镜系列产品。此项技术突破为奥普光电创造了新的技术发展点和经济增长点。

  BZPMJ700标准平面镜由平面反射镜和精密二维支撑架两个部分组成,其中平面反射镜由光学装校事业部光学一车间负责设计加工,精密二维支撑架由机械制造事业部工艺技术室、光学装校事业部装校技术中心负责结构设计及工艺编制,机械制造事业部负责加工。

    经过技术攻坚,平面反射镜已经加工出高精度面形:Φ700有效口径范围面形精度PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm)。此项技术的掌握标志着我公司在大尺寸平面镜光学加工技术方面取得重大突破,具备了Φ800以内大口径高精度平面镜加工能力,单镜加工周期为半年左右,加工工艺具备定型条件,并能够延伸开发制作不同尺寸和种类的标准平面镜系列产品,为公司创建了新的技术发展点和经济增长点。

    2013年,光学装校事业部光学二车间积极探索大尺寸光学元件的加工工艺,离轴抛物镜加工完成了一块φ580离轴抛物镜和一块φ700离轴抛物镜的加工,其中φ580离轴抛物镜面型优于rms1/40λ, φ700离轴抛物镜面型优于rms1/50λ;球面镜加工完成了一块φ1230mm球面镜的加工,其精度指标:PV≤1/7λ、rms≤1/60λ,目前此两项加工技术均具备工艺定型条件,单镜加工周期在半年以内,标志着公司具备了大尺寸元件的加工能力。

    

        Φ700平面标准镜在检测中心用32英寸ZYGO平面干涉仪检测
 
 
 

             Φ700平面标准镜面形干涉图及检测数据

  据悉,奥普光电也已具备了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直径580mm、直径700mm的离轴抛物镜,直径1230mm的球面镜的加工。

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