近日，广东深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，成功开发了国内首台专用于大规模高质量ZnO半导体透明导电薄膜材料生长的量产型MOCVD设备。
ZnO生长设备主要为MBE、MOCVD、溅射机和PLD等小型研究性设备，生产成本比较高，其中，采用MOCVD设备成膜速度快、大面积、均匀、多片一次生长、符合产业化的发展要求。但是，目前利用量产型MOCVD设备大规模生产ZnO透明电极的方法，在国内甚至是整个LED业界还是空白。
捷佳伟创称其与中山大学佛山研究院合作开发的量产型MOCVD设备，利用该设备制备的ZnO基透明导电薄膜可用于制作超高亮LED芯片的透明电极以增强出光效率，目前已有成套技术可规模生产制备封装后发光光效达到130lm/w以上大功率高亮度照明级的GaN基外延片和各种尺寸的发光二极管芯片，应用于下游LED室内外照明产品，将有助于LED制造企业提高产品质量、降低产品价格，对LED产业示范推广工程的顺利开展以及LED加速进入民用照明具有重大意义。
目前关于ZnO的专利主要集中在ZnO透明导电薄膜在光电子器件和太阳能电池中的应用领域。ZnO作为LED的透明电极，大多数专利集中在通过表面处理和工艺技术来改良欧姆接触界面性能和通过外延生长改良p型材料表面以提高隧穿几率这两方面，但是MOCVD制备大规模ZnO材料的专利还比较少。
捷佳伟创公司是一家光伏设备及绿色能源产业专用设备制造商，一直关注国内外MOCVD技术发展，部分参与项目研发人员曾从事过较长时间的十五“863”攻 关项目GaN-MOCVD设备6片机的研究，承担了其心脏部分反应器的攻关研制，获得了中试验证，并受到了科技部领导的鼓励。为了拓展公司在LED照明等 光电行业方面的应用市场，捷佳伟创不停地在寻找光电方面的合作伙伴。
捷佳伟创公司是一家高速发展的光伏设备及绿色能源产业专用设备制造商，成立于2007年6月深圳市宝安区，2011年10月26日，公司整体变更设立为股份有限公司，并完成了工商变更登记手续，注册资本达到人民币29967万元。公司先后收购或投资成立了常州捷佳创精密机械有限公司、湖北弘元光伏科技有限公司、深圳市创翔软件有限公司，并于2012年1月由宝安区搬迁至龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷产业园，2012年6月公司完成了注册地址的工商变更。
公司是一家国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商，自设立以来专注于管式PECVD、管式高温扩散炉、单多晶制绒清洗设备、硅芯硅料硅片清洗设备、等离子体刻蚀机、链式湿法刻蚀设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。
坚持“以技术换市场、以创新求发展”的核心经营理念是公司实现高速发展的主因。2009年公司在行业处于低谷时，毅然自主研发了太阳能电池生产的关键设备（扩散炉和PECVD）。由于产品技术水平同等于国外同类产品，而产品价格远低于引进设备的，公司新品凭借极高的性价比迅速占领了市场。公司的技术创新不仅为公司换来了市场，创造了效益，同时，公司由于实现了太阳能关键设备的“进口替代”，大幅降低了光伏行业的投资成本，因此促进了整个光伏行业的发展，产生了良好的社会效益。
公司上述的一系列变化更迭，表面上涉及的多是公司名称与注册资金，实际上也描绘出了一家民企的快速扩张，尤其是其发展的转型路径。对此可以做出验证的，当然是公司在产品核心技术上的一系列突破。
捷佳伟创的成长历程，以及所创造的奇迹，基本体现在光伏设备领域，尤其是LED照明上游装备的研发制造成果上。一家民企横跨光伏产业和LED照明产业的高端装备制造商的地位，以及对这两大产业的贡献意义，来源于企业扎实累积起来的技术进步。
2008年初，公司成立仅半年，即成功向市场推出首台自主研制的PE-260型等离子体刻蚀机。
2008年9月，公司自主研制成功DS-300型新型闭管软着陆高温扩散炉。
2009年2月，公司对现有扩散炉产品进行技术升级，并成功向市场推出DS-300A型全自动闭管软着陆高温扩散炉。
2009年5月，公司自主研制出PD-305型PECVD设备并成功推向市场。
2010年1月，在PD-305型PECVD的基础上，推出了PD-380型PECVD。
2010年底，公司通过重组深圳捷佳创晶体硅太阳能电池制绒、清洗设备资产业务和收购常州捷佳创，全面整合公司业务，常州捷佳创主要从事制绒、清洗和湿法刻蚀设备的研发制造业务，公司主要从事扩散炉、PECVD、等离子体刻蚀机及丝网印刷等设备的研发制造业务。
2011年7月，经过持续的研发投入，常州捷佳创成功推出SC-LSZ3000B改进型晶体硅链式制绒清洗设备。
2011年8月，公司成功研发了DS-300L型扩散炉。
2012年3月，公司在国内首家成功推出SC-LSX3000A选择性链式湿法刻蚀设备。
2012年中国首创，中山大学自主技术，深圳市捷佳伟创公司制造，产学研合作模式的结晶国内首台量产型ZnO基MOCVD设备进入工艺认证完成阶段。
