5月份，《解放日报》报道称北京市科委2010年度重大科技攻关项目“MOCVD生产性样机研制”通过验收。该项目主要由理想能源设备(上海)有限公司承担。
通过2年攻关，现已成功开发出具有自主知识产权的MOCVD反应腔，在多项关键设备技术和工艺技术上取得重要突破。
该项目标志着LED半导体外延片和芯片的核心生产设备MOCVD已基本实现国产化，打破对进口产品的依赖，有助于我国半导体照明产业快速发展。
金属有机物化学气相沉淀技术（Metal Organic Chemical Vapor Deposition，简称 MOCVD），是一项制备化合物半导体单晶薄膜的技术。主要用于发光二极管的制造，MOCVD设备是光电子行业关键设备，用MOCVD 技术进行外延生长是制造外延片的核心步骤。
尽管目前我国白光发光二极管（LED）产业发展比较快，但关键设备及材料的严重依赖进口，比如金属有机化学气相沉积（MOCVD）、等离子刻蚀机等技术含量很高的设备，国内生产线全部依靠进口。
为此，《“十二五”科技规划》将半导体照明列为节能环保产业技术发展的重点，未来五年，将重点发展LED制备、光源系统集成、器件等自主关键技术，实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化。
据了解，目前一些国内企业，如天龙光电等已经开始试水MOCVD国产。
《“十二五”科技规划》对LED发展目标的表述为：2015年半导体照明占据国内通用照明市场30％以上份额，产值预期达到5000亿元，推动我国半导体照明产业进入世界前三强。
中国大陆MOCVD设备研发及生产主要单位
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序号 |
单位/高校 |
规格 |
技术来源 |
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1 |
广东昭信半导体装备制造有限公司 |
37*2’ |
华中科技大学 |
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2 |
上海蓝宝光电材料有限公司 |
3*2’ |
中科院 |
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3 |
正泰理想新能源设备有限公司 |
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4 |
青岛杰生电气有限公司 |
6*2’ |
西安电子科技大学 |
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5 |
西安光学精密机械研究所 |
3*2’ |
中科院 |
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6 |
中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
7*2’ |
中科院 |
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7 |
青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
3*2’ |
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8 |
东莞中镓半导体科技有限公司 |
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北京大学 |
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9 |
华光慧能 |
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法国CSMEC |
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10 |
江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
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香港华晟 |
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11 |
中电48所 |
6*2’ |
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12 |
北京泰科诺科技有限公司 |
3*2’ |
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13 |
清华大学集成光电子实验室 |
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14 |
山东大学晶体材料国家重点实验室 |
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15 |
中科院半导体研究所 |
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16 |
福建省半导体照明工程技术中心 |
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17 |
华南师范大学信息光电子科技学院 |
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18 |
南京大学江苏省光电信息功能材料实验室 |
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