在国家863计划的持续支持下,我国MO源的研究和产业化取得了可喜成绩,在产品设计、合成制备、纯化技术、测试方法和封装容器等方面的研究水平不断提高,目前已开发出20多个MO源品种,其纯度达到99.999%-99.99995%,部分品种的研制技术进入世界领先行列,并实现了产业化。主要进展情况如下:
1.研制技术不断向高的层次发展,尤其是先进的配合物纯化技术在MO源纯化过程中的成功应用,大大提升了MO源的品质。
2.完成了第一条纯度为99.9999%的高纯三甲基镓生产线,年生产能力达到500公斤,产品的高质量得到用户充分肯定,产品占有国内(大陆)市场的近70%,同时,已销往台湾地区和韩国、日本等国家。
3.正在建设第二条年产2000Kg的高纯三甲基镓生产线;完善建设年产300公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铟生产线;建设第一条年产300公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铝生产线。建成的生产线实现产销后,能满足目前国际市场有关产品需求量的40%左右。
4.世界最大的MO源研究生产基地英国的Epichem公司,经过对南大光电高纯三甲基铟的严格考察,已经正式向南大光电订货。同时,高纯三甲基铟产品也已经经过德国著名的Osram公司的考核,开始正式供货。
国家863计划从1986年启动之初就支持开展MO源预研工作,经过二十多年持续扶持,在南京大学等项目承担单位的共同努力下,1997年科技部(原国家科委)批准依托南京大学建立国家863计划新材料MO源研究开发中心,“十五”期间MO源部分产品进入产业化实施阶段,以高纯三甲基镓、高纯三甲基铝、高纯三甲基铟和高纯二茂镁四个品种的知识产权作价入股,在苏州工业园区国际科技园成立“江苏南大广电材料股份有限公司”(以下简称南大光电),开始着手实施这四个品种的扩产试验工作,尤其是高纯三甲基铟和高纯三甲基铝的产业化。南京大学、南大光电和河北汇能电力电子有限公司还共同承担了“十一五”国家863计划“半导体照明工程”重大项目的“高纯(6.5N)铝源、铟源生产工艺及其分析方法的研究”课题。2006年底,上海同华创业投资管理有限公司注入资金1000万元,江苏省科技厅风险创业投资配套资助500万元,共同参与二期工程建设。
MO源即高纯金属有机化合物前体材料是MOCVD(有机金属化学气相沉积)技术生长化合物半导体材料的支撑材料。MO源的品种及质量与MOCVD技术的进步直接相关。作为MO源的高纯金属有机化合物必须具有合适的结构、合适的蒸汽压、合适的分解温度和很高的纯度,一般商用产品的纯度要求在99.9999%以上。
南京大学是目前我国MO源研究和研制的主要基地,先后承担了“七五”、“八五”、“九五”、“十五”期间国家“863”高技术发展计划项目、“七五”、“八五”国家重点科技项目等多项MO源研制的国家级研究任务。
经过十多年的拼搏,在MO源的合成方法、纯化技术、分析方法及灌装技术等方面都取得了可贵的经验,锻炼出一支训练有素的专业研究队伍。研制开发出20多种国内迫切需要的MO源品种,纯度在99.999%—99.9999%,大部分MO源品种已经通过了国家级的鉴定或验收;先后建成了多个MO源专用实验室,包括用于超纯纯化、超净样品处理、超净清洗、产品灌装及超纯分析等的超净室;自行设计和监制了MO源合成和纯化专用设备——无氧无水惰性气氛操作箱;设计并监制了性能优越的高纯MO源封装容器。
南京大学的MO源研制从产品的合成工艺、纯化技术、测试方法到封装容器,在国内处于领先地位,已达到国际先进水平。研究中心及有关课题的负责人,多次受到国家和省部级的奖励。鉴于南京大学在MO源研制方面取得的出色成绩,原国家科委于1997年正式批准在南京大学设立MO源研究开发的国家基地,即“国家863计划新材料MO源研究开发中心”。
国家863计划新材料MO源研究开发中心竭诚以最新的研究成果、最优质的产品回报社会、服务用户,为我国光电子事业发展做出贡献。