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国内首台等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)下线
发布时间:2011-01-19    来源:网络   阅读次数:775 分享到:

  1月8日我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备———等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)在上海成功下线,被视为中国在新能源高端装备领域取得的重大突破。“中国造”的PECVD性能领先于国外同类产品,价格大幅低于后者,国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。
    据介绍,由上海理想能源设备公司研制并首次下线的等离子体增强型化学气相沉积设备,是制造非晶微晶叠层薄膜电池最关键的设备。采用非晶微晶叠层硅薄膜太阳能电池结构不仅提高了转换效率,而且克服了非晶硅薄膜较严重的光致衰减效应。上海理想能源的PECVD采用了创新的超高频射频技术、精密的真空和温度控制技术、快速的自动传输技术和多腔多片的反应腔系统,大大提高了产能,其产品性能优越,而售价远低于同等的进口设备。

该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面。上海市委书记俞正声发来贺信,鼓励企业在上海培育战略性新兴产业、推进高新技术产业化、发展绿色能源进程中发挥更大作用。副市长艾宝俊出席下线仪式。

 据介绍,等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)是制造薄膜电池最关键的设备。由上海张江理想能源设备公司研制的国产设备采用了先进的超高频射频技术、真空和温度控制技术,以及自主创新的自动传输技术,产品性能足以与国际一流设备媲美,而售价仅为进口设备的一半。

  在太阳能光伏产业链上,关键设备的制造是有效降低成本,立足国际太阳能光伏市场,实现太阳能发电大面积推广的关键所在。上海通过积极推进高新技术产业化,大力扶持光伏设备国产化,并将之作为经济结构调整和产业转型升级的重要举措。由资深留美博士钱学煜等领衔,聚集20多名曾服务于国际一流企业、具有丰富经验的设备、工艺和管理专家,于2009年8月成立理想能源设备制造有限公司,成为光伏设备国产化的“先行者”。
  下线仪式上,总额为20亿元的正赛联清洁能源基金同时揭牌。该基金是由正泰集团、上海联和投资和赛伯乐基金共同发起创立的新能源私募股权平行投资新能源产业基金。公司注册资本5亿元,第1期募集10亿元,第2期开始全球范围内募集本、外币基金。基金将推动太阳能产品及系统销售,整合与培育提升二代太阳能光伏硅基薄膜产业链的整体竞争力。

  据市经济信息化委有关负责人介绍,2010年上海太阳能光伏产业快速发展,达到130亿元产业规模,比去年增长62.5%。尚德“冥王星”、晶澳“赛秀”等一批高效太阳能电池产业化项目在沪实施扩产计划。目前,全市已形成太阳能电池或组件产能超过1.7GW,比去年增长150%,尚德“冥王星”高效太阳能晶硅电池、晶澳、中电扩产高效太阳能电池组件等一批项目加快建成。此外,产业基地建设和招商引资成果显著,浦东、闵行、奉贤、松江等区进一步加大了新能源产业基地建设力度,引进了一批新能源高新技术产业化项目,总投资超过100亿元。

 长期以来,新兴产业在中国往往从低端开始,因而处于利润链的末端。企业要想往高端发展,就必须掌握关键尖端技术,其中包括实现关键设备的国产化。在太阳能发电领域,只有突破空白,坚持自主创新,掌握核心技术,把处于产业链前端的设备做好,才能与国际一流的企业进行竞争。

  成立于2009年8月的理想能源,是一家集研究、开发、设计、生产和销售于一身的太阳能电池生产设备企业。在技术上和人才上,走的都是高端路线和国际化路线。其团队是由以公司总裁、资深留美博士钱学煜先生为核心的十几名在相关领域的国际领先企业工作多年,积累了丰富成功经验的设备、工艺和管理专家,及一群优秀的中国工程师所组成。在财务上,得到了正泰集团的全力支持,创造了一个尖端技术、高端人才和国内民间资本的融合,是推动国家战略性新兴产业快速发展的典范。理想能源藉由关键设备国产化,和正泰太阳能结合起来,实现了正泰向上游领域的延伸,造就了一个完整的产业链。

晶硅和薄膜是目前太阳能电池两条主要的发展路线。理想能源选择了薄膜,因为晶硅电池依赖于高耗能、高污染的晶硅原料生产,而薄膜电池则更环保、更符合节能减排的国家战略。虽然薄膜电池的光电转换效率不如晶硅电池,但技术改进的空间和突破的可能都很大。因而,薄膜电池也最有希望达到平价上网这一重大目标。今年5月,中共中央政治局委员、上海市委书记俞正声在考察理想能源时指出,薄膜电池是低耗能,无污染的,与上海市政府倡导的节能减排、发展绿色能源的目标相契合。他对民营企业进入高科技行业表示肯定,认为理想能源同时定位于新能源产业和高端制造业两大高新领域,意义深远,应当大力支持。

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