北京北仪创新真空技术有限责任公司(原北京仪器厂)创建于1954年,是中国光学光电子行业协会光学元件与仪器分会理事单位,长期参加协会的各种活动。该公司从2006年实现了业务多元化,从单一生产真空设备转变为太阳能行业的设备供应商,2006年北仪创新公司研制成功了国内首条自行设计制造的非晶硅薄膜太阳能电池生产线,其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术,用于生产大型玻璃光电模板一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积,在相对低的设备投资下取得较高的大面积模板的产量,产品的性能指标达到国际同等水平,设备销往广东、福建、浙江等地区,改变了以往我国非晶硅薄膜电池生产线依靠进口的现状。总部位于中央商务区(CBD)的中心位置。生产基地位于大兴工业开发区,占地面积31064平方米,建筑面积45504平方米。2003年通过ISO-2000质量体系认证。共有真空获得、真空测量、真空应用三大类产品,从低真空到超高真空30多个系列160多个品种。产品广泛地应用于航天航空、电子信息、光学产业、冶金、建筑装饰、食品、纺织、电力环保及新能源等行业。
经过50多年对真空技术的探索,通过与全国多所大专院校、研究院所进行的多次合作开发,以及公司研发人员不断的创新与研发,北仪创新公司始终站在中国真空行业的前沿,在真空测量技术、真空获得技术、光学多层全自动镀膜技术、通用磁控溅射及多靶磁控溅射技术(DC、MC、RF溅射技术)以及PECVD技术等方面处于国内领先,并有多项科研成果获得国家专利。
2008年5月4日,由北京北仪创新真空技术有限责任公司设计制造的第四条非晶硅薄膜电池生产线发往宁波,至此,该公司已经完成了共计20MW的非晶硅薄膜电池生产线的生产制造工作。
此条5MW的非晶硅薄膜电池生产线,北仪创新公司研发人员在福建、广东生产线的基础上进行了升级,对前几条线在运转过程中存在的不足进行了改进,尤其是对核心设备PECVD的改进,大大提高了设备的可靠性和稳定性。目前,这条生产线正在安装调试的过程中。
北京北仪创新公司自2006年以来,已经先后承担了四条非晶硅薄膜光伏电池生产线共20MW的建设,其中第一条年产能5兆瓦的生产线已经在2006年11月投产,一直在正常运行, 第二、三条年产10兆瓦的生产线于2007年12月在广东中山投入使用,第四条线已经在宁波进入安装调试阶段。
2006年9月,由北京北仪创新真空技术有限责任公司自主研制的我国第一条非晶硅光伏电池生产线成套设备正式启运用户,标志着我国国产非晶硅光伏电池生产线成套设备实现了产业化。此生产线是用于生产光伏电池的成套生产设备,市场前景广阔,此前我国该种设备全部依靠进口,北仪创新公司是国内首家生产该设备的企业。
北京北仪创新真空技术有限责任公司公司提供技术成熟的成套非晶硅薄膜光伏电池的生产线,用于生产大型玻璃光电模板。其中非晶硅光电模板的生产工序,是经过验证非常成功的非晶硅高产量沉积技术,其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术,一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积,在相对低的设备投资下取得很高的大块模片的产量,最小成套规模为每单元5MW。我公司成功研制生产的非晶硅薄膜太阳能生产技术和成套设备,改变了以往我国这类产品只能依靠进口的现状。
北仪创新公司掌握了具有自主技术的非晶硅光伏电池生产线成套设备的制造技术和工艺,完成了2MWp级非晶硅光伏电池全套生产线的中试生产。其中,自主研发出非晶硅光伏电池生产线中的关键设备——通用PECVD沉积镀膜设备,解决了设备国产化的问题,同时聘请国外专家,在生产工艺的研究中取得重大突破,提高了非晶硅电池的转化效率。
非晶硅光伏电池生产线成套设备的产业化,将推动我国太阳能光伏薄膜电池的快速发展,加速我国太阳能光伏产业市场及应用的进程,对新能源领域装备制造业的发展具有示范作用。
非晶硅太阳能电池生产线主要用于生产大型光电玻璃模板,以普通玻璃为基底经过常压CVD制备氧化锡,,PECVD制备各类非晶硅膜层,磁控溅射制备铝膜电极,中间利用激光对膜系进行刻槽,再经过检测和封装,完成大面积电池组件的制造过程,整个工艺流程不超过十道。比晶体硅电池制作工艺更简单,硅材料利用率提高了几十倍,制造成本大约只有晶体硅电池的1/3。
北仪创新公司生产的非晶硅太阳能电池生产线设备是由北仪创新公司自主开发完成的,是国内唯一的已经投入使用的国产非晶硅电池生产设备。生产线覆盖整个非晶硅太阳能电池生产过程所需的设备及工艺,从采购的TCO玻璃一直到封装完好的非晶硅电池,整个项目为交钥匙工程。
整条生产线主要包括:玻璃磨边、玻璃清洗、玻璃钻孔、预热炉、冷却炉、老化炉、PECVD设备、PVD设备、激光刻膜设备、封装层压设备、电池I-V检测设备等。其中PECVD设备采用集装箱式装夹方式,可一次装夹生产48片单片规格1245mm×635mm的电池片,具有产量大、结构简单、操作方便等优点,设备真空度可达到5×10-4Pa,设备采用PID温控,具有外部隔热保护,采用计算机系统控制,所有关键零部件均采用进口部件。
PVD设备采用连续生产线式结构,整个设备操作简单,只需手动送入电池片后整个工艺过程由电脑控制自动完成,无需人工设置及操作。设备真空度可达到5×10-4Pa,设备生产效率高,控制采用计算机控制,具有安全互锁功能,设备关键部件采用进口部件。
其它配套设备均具有国际先进水平,设备稳定可靠操作简单。
非晶硅太阳能电池生产线设备已在国内福建、广东、浙江多个用户处正式投产使用,所生产的非晶硅电池为双节非晶硅太阳能电池,电池稳定转换效率为5.5%-6%,成品率为86%,电池片规格为1245mm ×635mm,单条生产线产能为5兆瓦/年。整个生产线运行稳定可靠。
北仪创新公司目前已经达到了年产80MW非晶硅薄膜电池生产线的设备制造能力。