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我国首台能同时生长六片外延片的MOCVD生长设备问世
发布时间:2008-04-07    来源:统计整理   阅读次数:887 分享到:

     从青岛市科技局获悉,由青岛杰生电气有限公司承担的国家“863” 半导体照明工程重点项目“氮化镓-MOCVD深紫外LED材料生长设备”制造取得重大突破,研制成功了我国首台具有自主知识产权的、能够同时生长6片外延片的MOCVD设备。

   据悉,该设备集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多学科为一体,是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备,在高亮度的蓝光发光二极管(LED)、激光器(LD)、紫外光电探测器、高效率太阳能电池、高频大功率电子器件领域中具有广泛应用,是半导体照明产业上游阶段关键设备。而目前,国内半导体照明产业的研发和生产所需设备全部依赖进口。

   市科技局人士介绍说,半导体照明产业基地是我市确定重点建设的十大产业基地之一,今后将在科技攻关、人才团队及平台建设等方面全力推进。

   LED生产主要有3个环节,就是发光半导体外延片的生长、芯片制作和封装,目前国内3个环节都有,尤其是外延片的生长环节,我国与世界一流水平还有较大的差距。从产业价值链的情况看,高质量的外延片已经成为中国LED产业发展的主要制约环节,中国的LED产业面临一个巨大的问题就是技术水平太低,中国LED产业刚刚处于起步阶段,不但与日本、美国、欧洲有巨大的差距,即便是与中国台湾相比,也相去甚远,国内LED的产业规模在100亿左右,仅是日本日亚化学一家的一半多一点。目前国内有十几家作LED外延芯片和芯片封装的公司,产业规模较小,最大的也不过2、3亿的产值。

    国内的外延片生长技术主要源于美国、基本上是进口美国的有机金属化学气相沉淀(MOCVD)装备,这些装备在美国就不是一流的装备,在整个LED产业外延片的生长、芯片、芯片封装3个环节中,外延片生长投资要占到70%,外延片成本要占到封装成成品的70%,同时外延片生长技术的人才全世界都缺乏,简单的说,外延片的水平决定了整个LED产业水平,国内近几年也陆续引进了50多台MOCVD装备,均处理大生产工艺摸索阶段,一旦工艺成熟,则会上10倍地增大装备数量形成规模生产,市场需求巨大。


    国家"863"计划和信息产业发展基金及时支持了国产外延设备如液相外延炉和MOCVD设备的研发(中科院半导体所、中电科技集团公司第四十八所),通过整机消化吸收,关键技术再创新等措施,填补了国内空白,使长期制约我国LED产业发展的装备瓶颈得以突破。

    随着国家照明工程的起步,国内LED芯片设备的巨大需求再次引起了国外半导体设备生产商的积极响应,他们日益重视中国这个巨大的市场,但是,这里面也存在着一个隐忧,国外芯片设备高昂的价格,相对制约了国内企业的规模化、产业化发展,也消耗了国家大量宝贵的外汇。同样也挤占了国内设备生产商的发展空间。

    由于LED外延片及芯片制造所需的装备要比集成电路芯片制造装备相对简单一些,我国除一些关键装备(如MOCVD、等离子刻蚀机、光电特性测试分选机)尚存一定差距外,其余大部分装备都能自主生产,装备的技术可靠性已经接近国外同类装备的水平,中电科技集团公司第四十五研究所、第四十八研究所、第二研究所3个研究所在各自的专业领域已具备了生产、开发LED全线装备的能力,如中电科技集团第四十五研究所生产的切片机、光刻机、清洗甩干机、探针测试台等,中电科技集团第四十八研究所生产的离子注入机等,它们均已在集成电路和电子元器件生产线上发挥作用。

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