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中国立式气相沉积高性能合成石英玻璃(JGS1)取得重大突破
发布时间:2008-02-21    来源:COEMA   阅读次数:1440 分享到:

  中国建材集团科技创新团队中国建筑材料工业石英玻璃重点实验室在国家“十一五”科技攻关支持下,自主研究开发的立式气相沉积高性能合成石英玻璃(JGS1)取得重大突破。现可生产国内最大的Φ600mm的单个石英玻璃坨,其重量达到200千克,可加工尺寸Φ10~900mm的各类高性能石英玻璃板材,已形成年产量20余吨高性能石英玻璃生产线;产品的光学均匀性达到1×10-6,性能达到国际先进水平。产品在质量、数量完全满足航天及“神光工程”等工程的研制需求;并且已远销日本、韩国、美国等多个国家和地区,订货量逐年递增。

    该生产线属科研成果转为生产进入市场开发的示范之一。科研人员自1998年起致力于高性能石英玻璃的生产工艺和产品性能的科技攻关。在生产工艺上敢于创新,打破传统卧式CVD工艺的生产模式,发明了立式CVD合成石英玻璃新工艺,于2002年取得实验室突破;立式工艺的突破大大提高了JGS1石英玻璃的产品尺寸、产品质量和生产效率,2003年申请国家发明专利并获得授权。

    与此同时,采用多项特殊专利技术和装备,不断提高JGS1石英玻璃的产品性能。国家安全和石英玻璃质量监督检测中心为产品性能检测配备了激光干涉仪、原子吸收光谱、紫外-红外分光光度计、定量应力仪、条纹仪、气泡检测仪及光学显微镜等各类检测仪器,为用户提供准确可靠的产品性能检验。经产品检测和重点用户使用,大尺寸高性能合成石英玻璃的光学、理化等性能达到国际少数发达国家同类产品水平,成为中国建筑材料科学研究院国惟一具有自主知识产权,以院士为核心,与企业相结合的研发高性能合成石英玻璃的基地。

中国的石英玻璃

    石英玻璃以其特有的性能成为现代科技发展的重要基础材料,在特种电光源、半导体、光通信、激光、航天以及核技术领域都有广泛应用。20世纪中叶中国建筑材料科学研究院国石英玻璃仍为空白。1955年原国家重工业部建筑材料工业综合研究所耐火材料研究室组建了石英玻璃研究小组,这是中国建筑材料科学研究院院石英玻璃研究工作的开端。
    1957年、1958年中国建筑材料科学研究院国第一块不透明石英玻璃和第一支透明石英玻璃管相继在中国建筑材料科学研究院院问世。10年浩劫科研小组被撤消,1971才得以恢复。上个世纪80年代中国建筑材料科学研究院院先后开发出低膨胀石英玻璃、合成石英玻璃、掺铈石英玻璃、掺锗多模石英光纤等石英玻璃新品种及电炉连熔工艺温度自动测量和控制、真空加压电炉炉温自控和管径测量工艺及装备。上个世纪90年代中国建筑材料科学研究院院取得集成电路、激光技术和特种光源用石英玻璃、非通信光纤领域石英光纤等重大科研成果。
     在原国家建筑材料工业局的支持下,经国家技术监督局批准,1987年中国建筑材料科学研究院院组建了“国家石英玻璃质量监督检验测试中心”,同时,全国石英玻璃标准化归口单位及行业协会石英玻璃专业委员会挂靠在中国建筑材料科学研究院院,20多年来为行业制定了行业和国家标准20余项。
    改革开放以来,中国建筑材料科学研究院国半导体、兵器和航天技术、光通信产业的快速发展,为石英玻璃提出了大批新的研究课题。中国建筑材料科学研究院院石英玻璃研究所经历了成立、迅速发展、机构撤消合并进而恢复的曲折历程。新一届领导带领广大职工,积极寻找新的机遇,在发展中求得新生。
    近年来,中国建筑材料科学研究院院进一步走合资经营的道路,建立了机械加工、火焰抛光、热处理等一整套光纤用支撑棒生产线,产品供国内光纤企业并销往日本,从科研走向独立开发生产经营的创业之路。
    在多种掺杂和高温均化技术的基础上,中国建筑材料科学研究院院科研人员研制成功的耐辐照石英玻璃已应用于返回式科学试验、广播通信、资源、海洋卫星及载人神舟5号飞船等地球同步飞行器姿控系统的光学部件。项目成果获国家科技进步二等奖。这些成果对发展中国建筑材料科学研究院国航天事业和推动石英玻璃行业技术进步具有重要意义。
    中国建筑材料科学研究院院在上个世纪90年代后期采用立式气相沉积新工艺,开展了大尺寸、高性能光学石英玻璃的研究与开发工作。试制出的产品性能基本达到国际同类水平。
    中国建筑材料科学研究院的科研人员通过等离子气相沉积技术研制高纯度石英玻璃,采用掩模刻蚀、激光切割、溅射涂膜、精密加工等工艺技术,开发高精密石英玻璃元件---摆片玻璃,确保国家需求。
    在863光电子新材料专家组的支持下,中国建筑材料科学研究院院开展稀土掺杂---浮法技术制备基板玻璃(PDP)的科技攻关,为中国建筑材料科学研究院国新一代显示玻璃的自主开发闯出了一条新路。
    “十五”期间,针对大尺寸、高性能石英光学元件,中国建筑材料科学研究院院正在提高重点装备的技术水平,保障建设和制备工艺技术的攻关,以期取得突破性进展,为“十一五”期间实现产业化打下坚实的基础。
    进入新世纪,随着中国建筑材料科学研究院国加入世贸组织,为中国建筑材料科学研究院国石英玻璃工业的发展带来了新的机遇和挑战。目前中国建筑材料科学研究院院必须抓住机遇,适应市场经济发展的需求,在基础研究、技术创新、市场开发的基础上,科研与生产进一步紧密结合,培养锻炼新一代年轻科技骨干,团结奋进,艰苦奋斗,开拓创新,脚踏实地,走出一条研究与发展相结合的新型科技企业发展之路。 

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