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氩离子激光器结构及其原理
发布时间:2007-12-26    来源:网络   阅读次数:5775 分享到:

   氩离子(Ar+)激光器是一种惰性气体离子激光器,是目前在可见光区域输出功率最高的一种连续工作的激光器。一般输出功率为几瓦或几十瓦,在可见光区域可发射多条振荡谱线,其中以波长514.5nm(绿色)和488nm(蓝色)的最强。

   氩离子激光器由放电管、磁场和谐振腔组成。其中最关键的部分是放电管。氩离子激光器放电管的核心是放电毛细管,由于氩离子激光器的工作电流密度高达数百安/平方厘米,放电毛细管的管壁温度往往在1000℃以上。因此需采用耐高温、导热性能好、气体清除速率低的材料制成,如采用石英管、氧化铍陶瓷管、分段石墨管等。

  高纯质密石墨是目前广泛使用的一种放电毛细管材料。由于石墨是良导体,为维持放电,石墨放电毛细管必须采用分段结构,段与段间彼此绝缘。其中,放电毛细管由分段石墨片组成,石墨片由两根直径约3.5mm的氧化铝陶瓷杆串起来,并用小石英环使其每片隔开,彼此绝缘。整个组合体置于水冷套的石英管内,两端分别为提供电子发射的阴极和收集电子的石墨阳极,阴极选用钡钨材料。此外,氩离子激光管内设有回气管,使放电管气压平衡,有助于激光输出。

  在石墨管氩离子激光器中,管内的气体清除效应引起管内气压降低,使输出降低。为了延长激光管的使用寿命,在激光管上常常配备有贮气和充气装置。

  氩离子激光器的谐振腔由两个镀有多层介质膜的反射镜组成。全反端17层,反射率达99%以上,输出端镀5层,透射率12%(514.5nm),14%(488nm)。为了提高氩离子激光器输出功率和寿命,还需加上几百到一千高斯的轴向磁场。通常由套在放电管外面的螺管线圈产生。

氩离子激光器工作特性

1.光谱特征。如前所述,氩离子激光器在可见光区可同时输出7.8条光谱线,其中514.5nm和488nm为最强,约占其总输出功率的30%-40%。腔内加上分光棱镜,经过调整可获得单一谱线的输出。腔内加F-P标准具,可以得到谱线宽度为3MHz的单频率激光输出。

  2.输出功率与工作电流的关系。放电电流较小时,输出功率约和工作电流的四次方成正比。放电电流较大时,输出功率逐渐变为与工作电流平方成比例。

  3.输出功率与气压的关系。放电管内的气压对输出功率P有直接影响,实验测得放电管中最佳气压和管径d有如下关系:

  Pd=0.8-1.2Torr.mm

  4.输出功率与轴向磁场的关系。轴向磁场对放电管中做径向运动的带电粒子,有一洛伦兹力的作用,增加了轴心附近的电子和离子的密度,有助于提高输出功率。实验证明,轴向磁场可提高输出功率1-2倍。但是轴向磁场又会使激光谱线展宽,引起输出功率下降,因此存在一个使输出功率最大的最佳磁场强度。这个最佳值与放电电流、气压、管径和波长有关。

  由于电子、离子趋向于放电管轴,减少对管避的冲击,减少电极的溅射,因而同时可提高器件寿命。

激发机理

放电管中快速电子与中性Ar原子碰撞时,从Ar原子中打出一个电子使之电离,形成基态氩离子Ar+(3P5)此过程可表示为:

  Ar(3P6)+e-→Ar+(3P44P)+e-

  处于基态的Ar+再与电子碰撞可激发到高能态3d、4s、4d……形成氩离子的激发态,此过程可表示为:

  Ar+(3P5)+e-→Ar+(3P44P)+e-
  Ar+(3P5)+e-→Ar+(3P4ns)+e-
  n=4,5……
  Ar+(3P5)+e-→Ar+(3P4nd)+e-
  n=3,4,5……

  氩离子激光器的主要激光跃迁发生在氩离子的激发态3P44P和3P44S之间,3P44P是激光上能级,3P44S是激光下能级,属于激发态3P44S的能级有:

  双重态2P1/2、2P3/2;四重态24P1/2、4P3/2、4P5/2。属于激发态3P44P的能级有:双重态2S1/2;2P1/2、2P3/2、2D3/2、2D5/2。四重态4S3/2;4P1/2、4P3/2、4P5/2;4D3/2、4D5/2、4D7/2。

  下表列出了氩离子激光器在可见光谱区的谱线和输出功率。



表  氩离子激光的可见光光谱线

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气体放电激励激光器
气体激光器以气体或金属蒸汽为发光例子,它是目前种类最多、激励方式最多氧化、激光波长分布区域最宽、应用最广泛的一类激光器。最早也最具代表性的气体激光器是1961年问世的氦氖激光器。

产生激光的粒子种类
在原子气体激光器中,产生激光作用的是没有电离的气体原子,常用的气体主要有氦、氖、氩、氪、氙等惰性气体,有时也用氯、溴、碘、氮、硫、碳、氧等气体,或铯、镉、铜、锰、锡等金属原子蒸汽。
分子激光器中产生激光作用的是没有电离的气体分子,常用的分子气体主要有CO、N2、O2、CO2、N2O和水蒸气等。典型代表是CO2激光器和氮分子激光器。
离子激光器的发光依靠电离的离子。
右图是一台组合式CO2工业激光器。

氩离子激光器基本特性
上图:一台大功率氩离子激光器,功率1-15W
下图:一台风冷氩离子激光器,功率25-100W

激发机理1

激发机理2
如果激发两种组态的速率相同,即可使4p态粒子数远多于4s态,实现粒子数反转。

激发机理3

激发机理4
1、2两种激发形式在氩离子激光器中都存在,由于一步过程要把Ar原子激发到高达35.5eV的3p44p,需要的电子能量较大,只有在低气压脉冲器件中才能达到,而二步过程只需要16-20eV的能量,所以在连续工作的器件中,二步过程占主导。

对气体放电的要求
激发Ar离子要求高电子能量。如果气压低,电子自由程长,能量损耗小,电子能量就高。

一般结构1

一般结构2
泵浦效应:放电管内的气体会被从一端抽运到另一端,使两端气压不均匀。
回气管使放电管内气体形成闭合回路,依靠气体的扩散作用减小管内气压差。

一般结构3
将氩离子激光器置于轴向磁场中,不仅可以减小离子对管壁的轰击,延长激光器的寿命,而且能提高激光器的输出功率和效率。因为在放电管内,向管壁运动的电子和正离子在轴向磁场作用下作螺旋状运动,并向管轴集中。利用了磁力线可以约束自由带电粒子的特性。
但原子、离子在磁场中能级会劈裂,所以磁场会使谱线变宽,导致增益降低。磁场也使管内带电粒子密度增加,从而碰撞也增多,使电子温度降低。所以磁场大小要根据实验调整到一个最佳值。

应用:母盘制作1
开发过程是指形成母盘的数据源,包括存储的数据,如视频、音频、文本数据,和数据的编码。
首先必须准备一块圆形平板状的厚玻璃基板,使用硝酸或具有溶解力的物质对其清洗,然后在其表面均匀地涂布称为“photoresist”(光刻胶,PR,这是一种光敏感物质)的物质,厚度为130皮米。涂后经过约20分钟烘干。
显影:刻录过程是化学反应,故刻录后的玻璃母盘要清洗一次把多余反应物去除。
PR的质地不够坚硬,必须将玻璃母盘转制成金属母盘。
镀银:使PR表面能导电。
电铸:电镀上一层镍。
抛光:母盘底层,即非信号面,由于电镀的缘故不平整,故要进行抛光。
冲压:母盘中央圆孔和外围多余部分。

应用:母盘制作2
早期和中期大多采用气体激光器,但是气体激光器的缺点比较突出,比如耗电,气体激光器约需要7KW,而大功率半导体激光器只有25W。因此,目前大多母盘生产线都采用大功率半导体激光器。

应用:激光器的泵浦源
染料激光器是一种常用的液体激光器,用有机染料作为工作介质。
右图:用氩离子激光器作泵浦源的染料激光器。

应用:激光眼科学

应用:其它应用
PDT:机体接受光敏剂后一定时间,肿瘤组织摄取和存留的光敏剂较多,经特定波长的光照射,在生物组织中氧的参与下发生光化学反应,产生单态氧和/或自由基,破坏组织和细胞中的多种生物大分子,最终引起肿瘤细胞死亡,达到治疗目的。

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