LCD替代ODS清洗技术
发布时间：2007-09-26 来源：统计整理 阅读次数：697 分享到：
本文讨论LCD替代清洗剂及其工艺路线的选择；半水基清洗剂适用于对狭缝液晶及玻璃表面洁净度要求较高的高档LCD，溶剂清洗剂可利用原F113设备高效率低成本清洗LCD，水基清洗剂适用于ITO玻璃清洗和低档LCD的清洗
众所周知，以前LCD行业大量使用的氟里昂、三氯乙烷属于臭氧层损耗物质（ODS），严重破坏地球高空臭氧层，危害人类的生态环境，是国际公约限期停止生产和使用的物质。国家环保总局外经办发布了《关于消耗臭氧层物质（ODS）清洗剂实行使用许可证的通知》强制减少和淘汰ODS清洗剂，LCD行业已有14家企业参与了《中国清洗行业ODS整体淘汰计划》，并获国际多边基金赠款，其中已有9家企业的替代清洗设备已经完成，即将投入运行。故选择适合的替代清洗剂及其工艺路线的选择成为当务之急。
一、LCD替代清洗剂及其工艺路线的选择
??适用于LCD行业的替代清洗剂有水基清洗剂、半水基清洗剂、溶剂清洗剂三种类型，水基和半水基清洗适用于超声水洗工艺路线，溶剂清洗剂适用于气相超声清洗工艺路线。表1列举替代清洗技术的比较。
??值得一提的是，对于LCD狭缝残留液晶的清洗的速度而言，水基清洗剂远远不及溶剂和半水基清洗剂。其原因有二：一是水基清洗剂去除LCD残留液晶是以表面活性与液晶的乳化作用为主，乳化对超声的依赖性较大，二是水的表面张力比溶剂大，对狭缝的润湿性能较差。半水基和溶剂清洗剂对液晶是一种溶解作用。
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二、LCD替代清洗技术的成本比较
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三、环保清洗剂Fisher 2000系列产品在LCD上的应用
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