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DETAIL DRAWING
主要检测项目:测量镜片类型,平面、球面、非球面、离轴镜、柱面镜、自由曲面的面形偏差
检测范围:
测量样品口径(D×H)350mm×150mm可测全局斜率90°
检测精度:
面形精度≤±50nm
共轴元件RMS测量不确定度<5nm
自由曲面RMS测量不确定度<15nm
治具需求:
部分样品客户需按样品形状提供对应治具