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DETAIL DRAWING
主要检测项目:测量镜片类型,平面、球面、非球面、自由曲面、环形镜、衍射透镜、锥透镜的面形偏差
检测范围:
测量样品直径≤420mm 最大测量陡坡90°
检测精度:
面形精度≤±50nm 重复性(PV):±5nm