中国光学光电子行业论坛[专业论坛][镀膜及光学薄膜讨论区] → 求助:用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数


  共有786人关注过本帖树形打印

主题:求助:用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数

帅哥哟,离线,有人找我吗?
b57322710
  1楼 个性首页 | 博客 | 信息 | 搜索 | 邮箱 | 主页 | UC


加好友 发短信
等级:初级工 帖子:13 积分:308 威望:0 精华:0 注册:2008-6-5 16:50:07
求助:用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数  发帖心情 Post By:2008-7-30 10:19:20

求助:用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数
磁控溅射的
现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40:10

但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置
刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下


免费入录网络版光电行业名录 支持(0中立(0反对(0回到顶部
帅哥哟,离线,有人找我吗?
王工
  2楼 个性首页 | 博客 | 信息 | 搜索 | 邮箱 | 主页 | UC


加好友 发短信
等级:初级工 帖子:17 积分:410 威望:1 精华:0 注册:2008-9-16 20:45:50
  发帖心情 Post By:2008-9-16 23:07:45

 

 

   每台新设备都要摸索出属于自己的一套工艺。

 

   在厉害的高手,也没法通过你这几句话就可以定你的参数的。

   

   有空和我聊聊吧!或许能帮上一点忙!


2008年中国国际光电周情况汇报 支持(0中立(0反对(0回到顶部
帅哥哟,离线,有人找我吗?
王工
  3楼 个性首页 | 博客 | 信息 | 搜索 | 邮箱 | 主页 | UC


加好友 发短信
等级:初级工 帖子:17 积分:410 威望:1 精华:0 注册:2008-9-16 20:45:50
  发帖心情 Post By:2008-9-16 23:08:10

QQ:512358699

论坛使用技巧:请使用页面底端的搜索工具来查找相关内容 支持(0中立(0反对(0回到顶部